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【微纳加工】
负责人：王玉光/崔晓晨
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【光学与原子力显微镜】
负责人：赵华波
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【扫描与FIB电镜】
负责人：刘刚
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【低温物性测试】
负责人：张锦锡
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【镀膜与刻蚀】
负责人：袁宏韬
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【透射电镜】
负责人：马超
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