品牌 / 型号： 日立 / SU8020

原产国：日本

主要用途：

利用二次电子、背散射电子信号反映样品表面微观形貌；配EDS附件分析成分

关键参数：

1. 放大倍率：60 倍到200万倍

2. 加速电压：100 V - 30 kV

3. 分辨率：1.0nm @ 15kV, WD=4.0mm

负责人：张老师

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