品牌/型号: Asylum Research/MFP-3D

原产地：美国

主要用途:

通过检测探针上微型力敏感元件和样品表面之间的原子间作用力信号反映样品表面高低起伏形貌，导电模块能够测量样品表面导电性能。

关键参数：

1.XY扫描器范围90 m 90 m，Z轴扫描器范围15 m。

2.XY闭环噪音小于0.5nm，非线性度小于0.5% ，Z轴光学杠杆噪音0.02nm，非线性度小于0.05%。

3.工作模式：轻敲形貌模式、接触形貌模式、PFM模式、导电模式等。

负责人: 赵老师

联系电话：010-82854868

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