品牌/型号：汇杰/Easy Tube^TM3000 System 

原产国：美国 

主要用途： 

主要用于硅锗（SiGe）纳米线、碳纳米管（CNT）、石墨烯（Graphene）、氧化锌（ZnO）纳米线的生长，以及对晶硅和二氧化硅（SiO₂）薄膜的可控生长 

关键参数： 

1. 支持常压和低压工艺 

2. 最高温度1200  

3. 恒温区温度均匀性优于 0.5  

负责人：袁老师

联系电话：010-82854603

E-mail：yuanhongtao@binn.cas.cn