品牌/型号：Aixtron/CCS 3 2 MOCVD 

原产国：英国 

主要用途：

该MOCVD系统主要用在蓝宝石、单晶硅等衬底上生长高质量GaN、AlN、AlGaN等外延材料、多量子阱结构和纳米材料。 

关键参数： 

1. 3 2”反应系统 

2. 三温区加热器，最高加热温度1300  

3. 反应源：Cp2Mg,TMIn,TMAl,TEGa,TMGa 

负责人：袁老师

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