品牌 / 型号: PICOSUN / SUNALE R-200

原产地：芬兰

主要用途:

该原子沉积系统主要用于材料的薄膜制备，应用领域包括晶体管栅极介电层、金属栅电极、半导体纳米材料薄膜制备等

关键参数：

1.前驱体源: 具有六根独立源管线

最大加载十二个前驱体源

2.基片尺寸： ≤ 8英寸基片

负责人: 赵老师

联系电话：010-82854868

E-mail : zhaohuabo@binn.cas.cn