品牌 / 型号： FEI / Helios NanoLab 600i

原产国：捷克

主要用途：

用于纳米材料的刻蚀、沉积等微纳加工工艺以及透射电镜样品的制备； 配EDS附件分析成分

关键参数：

1.放大倍率：40倍到60万倍

2.二次电子分辨率：≤0.9nm@15kV； ≤1.4nm@1kV

3.离子成像分辨率：4nm@30kV

负责人：张老师

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