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Denton超高真空电子束蒸发镀膜仪

  

品牌 / 型号: Denton Vacuum / Explore 14

原产地:美国

主要用途:

电子束蒸发仪可蒸发高纯与难容材料,包括高熔点金属与非金属材料;4穴可旋转坩埚,可制备多层薄膜;主要用于制备各种介质薄膜和电极薄膜材料。

主要技术指标

采用CTI-8冷凝泵,60分钟内真空度可达1 10-6Torr,极限压力可达8 10-8Torr

不锈钢高真空沉积腔体

8kW电子枪

基片旋转以提高均匀度,旋转速度0-20/分钟

装备有石英晶体薄膜厚控制器

4英寸范围膜厚均匀度5%

主要附件

样品要求

小于8英寸

放置地点

二层226实验室

负责人:袁老师

联系电话:010-60688332

E-mail:yuanhongtao@binn.cas.cn

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