品牌 / 型号: Denton Vacuum / Explore 14

原产地：美国

主要用途:

电子束蒸发仪可蒸发高纯与难容材料，包括高熔点金属与非金属材料；4穴可旋转坩埚，可制备多层薄膜；主要用于制备各种介质薄膜和电极薄膜材料。 

主要技术指标 

采用CTI-8冷凝泵，60分钟内真空度可达1 10^-6Torr，极限压力可达8 10^-8Torr 

不锈钢高真空沉积腔体 

8kW电子枪 

基片旋转以提高均匀度，旋转速度0-20转/分钟 

装备有石英晶体薄膜厚控制器 

4英寸范围膜厚均匀度5% 

主要附件 

无 

样品要求 

小于8英寸 

放置地点 

二层226实验室 

负责人：袁老师

联系电话：010-82854603

E-mail：yuanhongtao@binn.cas.cn