品牌 / 型号：Vistec/EBPG-5000pES  

原产国：荷兰 

主要用途： 

利用电子束扫描系统在光刻胶上制作纳米级分辨率的图形和结构。 

关键参数： 

1. 曝光分辨率优于20nm； 

2. 套刻精度： 20nm(100kV)，  30nm(50kV)； 

3. 样品尺寸：≤6inch 

负责人: 王老师 

联系电话：010-82854615 

E-mail : wangyuguang@binn.cas.cn