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KJL电子束蒸发镀膜仪
品牌/型号: Kurt J. Lesker PVD75 Proline
原产地：美国
主要用途
电子束蒸发仪可蒸发高纯与难容材料，包括高熔点金属与非金属材料；4穴可旋转坩埚，可制备多层薄膜；主要用于制备各种介质薄膜和电极薄膜材料。
主要技术指标
系统极限压强可达≤2x10-7Torr
真空计测量范围为大气至10-10Torr。MKS电容式薄膜规，满量程为0.1Torr。
5kW电子枪
样品台最大转速20转/分钟，转速可调
衬底最高加热温度350 。控温精度 1
4英寸范围内薄膜非均匀性优于 5%
1路MKS质量流量计控制进气，最大流量为100sccm，精度为1%，最小重复精度为0.2sccm
主要附件
无
样品要求
小于8英寸
负责人：袁老师
联系方式：010-82854603
E-mail：yuanhongtao@binn.cas.cn
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