品牌/型号: Kurt J. Lesker PVD75 Proline 

原产地：美国 

主要用途 

电子束蒸发仪可蒸发高纯与难容材料，包括高熔点金属与非金属材料；4穴可旋转坩埚，可制备多层薄膜；主要用于制备各种介质薄膜和电极薄膜材料。 

主要技术指标 

系统极限压强可达≤2x10^-7Torr 

真空计测量范围为大气至10^-10Torr。MKS电容式薄膜规，满量程为0.1Torr。 

5kW电子枪 

样品台最大转速20转/分钟，转速可调 

衬底最高加热温度350 。控温精度 1  

4英寸范围内薄膜非均匀性优于 5% 

1路MKS质量流量计控制进气，最大流量为100sccm，精度为1%，最小重复精度为0.2sccm 

主要附件 

无 

样品要求 

小于8英寸

负责人：袁老师 

联系电话：010-60688332

E-mail：yuanhongtao@binn.cas.cn