主要技术指标 

系统极限压强可达≤2x10^-7Torr 

真空计测量范围为大气至10^-10Torr。MKS电容式薄膜规，满量程为0.1Torr。 

3台标准磁场溅射靶枪，靶材尺寸为4英寸 

1台1000W直流电源 

1台600W射频电源，具备自动匹配功能 

靶枪具有折弯功能，调节范围为正负45度，用于调节靶头与基片之间的溅射角度 

样品台最大转速20转/分钟，转速可调 

衬底最高加热温度350 。控温精度 1  

4英寸范围内薄膜非均匀性优于 5% 

3路MKS质量流量计控制进气，最大流量为100sccm，精度为1%，最小重复精度为0.2sccm 

主要附件 

无 

样品要求 

小于12英寸