品牌/型号：DSE200S
原产地：中国
主要用途：
纳米级、微米级尺寸的硅刻蚀
关键参数：
1. 刻蚀速率：≥2 m/min
2. 深宽比：50:1
3. 角度：90 1
主要附件
控制机柜
干泵
气体柜
样品要求
固态
负责人：袁老师
联系电话：010-60688332
E-mail：yuanhongtao@binn.cas.cn
